Koos traditsiooniliste Al2O3 ja BeO substraadimaterjalide laiaulatuslike jõudluse eelistega on alumiiniumnitriid (AlN) keraamika, millel on kõrge soojusjuhtivus (monokristalli teoreetiline soojusjuhtivus on 275 W/m▪k, polükristalli teoreetiline soojusjuhtivus on 70–210 W/m). ), on madal dielektriline konstant, soojuspaisumise koefitsient, mis on sobitatud monokristallilise räniga, ja head elektriisolatsiooniomadused, on ideaalne materjal mikroelektroonikatööstuses vooluringi substraatide ja pakendamise jaoks.See on ka oluline materjal kõrge temperatuuriga struktuursete keraamiliste komponentide jaoks tänu headele kõrgel temperatuuril mehaanilistele omadustele, termilistele omadustele ja keemilisele stabiilsusele.
AlN teoreetiline tihedus on 3,26 g/cm3, MOHS kõvadus on 7-8, toatemperatuuri eritakistus on suurem kui 1016 Ωm ja soojuspaisuvus on 3,5 × 10-6 / ℃ (toatemperatuur 200 ℃).Puhas AlN keraamika on värvitu ja läbipaistev, kuid lisandite tõttu on see erinevat värvi, näiteks hall, hallikasvalge või helekollane.
Lisaks kõrgele soojusjuhtivusele on AlN keraamikal ka järgmised eelised:
1. Hea elektriisolatsioon;
2. Sarnane soojuspaisumise koefitsient räni monokristalliga, mis on parem materjalidest nagu Al2O3 ja BeO;
3. suur mehaaniline tugevus ja sarnane paindetugevus Al2O3 keraamikaga;
4. Mõõdukas dielektriline konstant ja dielektriline kadu;
5. Võrreldes BeO-ga mõjutab AlN keraamika soojusjuhtivust vähem temperatuur, eriti üle 200 ℃;
6. kõrge temperatuurikindlus ja korrosioonikindlus;
7. Mittetoksiline;
8. Kasutada pooljuhtide tööstuses, keemiametallurgiatööstuses ja muudes tööstusvaldkondades.
Postitusaeg: juuli-14-2023