Tefloniga kaetud keraamiline efektorots – mittenakkuv pind vahvlite tundlikuks käsitsemiseks
St.Cera teflonkattega (PTFE) keraamiline efektor ühendab ülitugeva alumiiniumoksiidi aluspinna ühtlase, väikese hõõrdumisega PTFE-kattega (paksus 15–30 μm). Kate tagab äärmiselt madala hõõrdeteguri (≤0,1), suurepärase keemilise vastupidavuse ja mittenakkuvad omadused, hoides ära vahvlite kleepumise ja kõrvaldades tagakülje saastumise. Alus olev keraamiline aluspind (99,8% Al₂O₃) pakub suurt paindetugevust (361–1000 MPa), kulumiskindlust ja termilist stabiilsust kuni 260 °C (katte piir). See efektor sobib ideaalselt õrnade, õhukeste või kleepuvate vahvlite (nt pärast fotoresistkatet või keemilisi protsesse) käsitsemiseks.
Spetsifikatsioonid (põhineb 99,8% Al₂O₃ aluspinnal PTFE-kattega):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Alusmaterjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Kattematerjal | PTFE (teflon) |
| Katte paksus | 15–30 μm |
| Hõõrdetegur (kattega) | ≤0,1 |
| Aluspinna paindetugevus (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Aluspinna kõvadus (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Aluspinna tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Maksimaalne töötemperatuur (kattekihi piirang) | 260°C |
| Pinna karedus (enne katmist) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektriline tugevus (aluspind) | 15 × 10⁶ V/m |
Märkus: PTFE-kate piirab maksimaalset temperatuuri 260 °C-ni; kõrgema temperatuuriga rakenduste puhul kaaluge katmata keraamilisi või muid katteid.
Rakendused:
- · Vahvlite käsitsemine pärast fotoresistkattega katmist (kleepuvad pinnad)
- · Õhukeste või habraste vahvlite ülekandmine (hoiab ära kleepumise)
- · Pooljuhtide kontrolli ja metroloogia tööriistad
- · Puhasruumi automatiseerimine, kus osakeste saastumist tuleb minimeerida
Tootmisprotsess:
Keraamiline aluspind paagutatud ja täppislihvitud → pinna karestamine (plasmasöövitus või liivaprits) → PTFE-pihustuskate → kuumkõvendamine temperatuuril 380 °C → lõppkontroll. Iga efektorpea katte paksust (pöörisvool), adhesiooni (ristlõikekatse ASTM D3359) ja hõõrdetegurit kontrollitakse.
Kvaliteedikontroll:
100% visuaalne kontroll nõelaauku või mullide suhtes; katte paksuse ühtlus ±5 μm piires; kihistumise puudumine pärast 90° painutuskatset tunnistuskuval. Mõõtmete kontroll vastavalt originaalvaruosade tootja tolerantsile (pikkus ±0,05 mm, tasasus ≤0,1 mm).
Eelised katmata või muude katete ees:
- · Mittenakkuv pind hoiab ära vahvlite kleepumise ja purunemise
- · Madalaim hõõrdetegur keraamiliste katete seas
- · Suurepärane keemiline vastupidavus (happed, alused, lahustid)
- · Vähendab osakeste teket, takistades materjaliülekannet
Piirangud (märkused materjali hälbe kohta):
PTFE-kate ei ole tuletatud esitatud materjali omaduste tabelitest (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Aluspinna omadused vastavad rangelt esitatud andmelehele (99,8% Al₂O₃). Katte omadused põhinevad tööstusstandardi PTFE spetsifikatsioonidel, kuna katte andmeid ei esitatud. Rakenduste puhul, mille temperatuur ületab 260 °C, on soovitatav katmata keraamiline efektor.*
Kohandamine:
Saadaval pikkustega 150–1500 mm, otsakujudega (servahaare, Bernoulli, lame), kinnitusääriku mustritega vastavalt OEM joonisele. Osaline katmine (ainult kokkupuutepinnad) või täielik katmine valikuliselt.
Küsige näidist haardumis- ja hõõrdekatsete jaoks.
