Alumiiniumoksiidi ülitäpse keraamilise rõnga keraamilised osad
Lühike kirjeldus:
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.