Alumiiniumoksiidi keraamiline efektor integreeritud vaakumkanalitega
St.Cera alumiiniumoksiidi vaakumotsaefektor integreerib täppistöödeldud vaakumkanalid ja imemisavad otse 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi korpusesse. See konstruktsioon välistab välised vaakumpadjad, võimaldades otsest kiibi ülesvõtmist ühtlase hoidejõuga. Materjali kõrge paindetugevus (361 MPa) ja kõvadus (16 GPa) tagavad pikaajalise mõõtmete stabiilsuse korduvate vaakumtsüklite ajal. Padja pinna tasasus säilib 10 μm piires, mis hoiab ära kiibi pinge ja purunemise. Vaakumpordid asuvad tagumise kinnitusääriku juures, et hõlbustada integreerimist OEM-robotite kätega.
Spetsifikatsioonid(põhineb 99,8% Al₂O₃-l):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Youngi moodul | 380 GPa |
| Soojuspaisumine | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Padja tasasus | ≤10 μm |
| Vaakumkanali laius | 0,5–2,0 mm |
| Maksimaalne töötemperatuur | 800°C |
Rakendused:
● Õhukeste või moonutatud vahvlite vaakumkorje
● Kiipide otsene käsitsemine ilma servade haaramiseta
● Päikesepatareide ja LED-aluspinna ülekanne
Tootmine:
Paagutatud alumiiniumoksiidi toorik → 5-teljeline CNC-puurimine vaakumkanalite ja -avade jaoks → pinna soppimine → ultrahelipuhastus → heeliumi lekkekatse. Iga efektor on läbinud 100% voolutesti vaakumi ühtluse osas.
Eelised:
● Väliseid vaakumpatju pole vaja (vähendab osakeste allikaid)
● Ühtlane hoidmisrõhk hoiab ära kiipide märgistumise
● Keemiliselt inertne ja puhasruumiga ühilduv
