ESD-ohutu alumiiniumoksiidkeraamilised osad staatiliselt tundlike vahvlite käitlemiseks
St.Cera ESD-ohutud (elektrostaatilise laengu) alumiiniumoksiidkeraamilised osad on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega Al₂O₃-st, mille kohandatud pinnatakistus on 10⁶–10⁹ Ω/sq, mis saavutatakse patenteeritud legeerimis- või katmisprotsessi abil. Need osad hajutavad tõhusalt staatilist laengut, hoides ära elektrostaatilised kahjustused tundlikele pooljuhtplaatidele ja -seadmetele. Alusmaterjal säilitab oma kõrge paindetugevuse (361 MPa), kõvaduse (16 GPa) ja dielektrilise tugevuse (15×10⁶ V/m). ESD-ohutud keraamiliste osade hulka kuuluvad efektormehhanismid, tõstetihvtid, juhtsiinid ja kohandatud kinnitusdetailid FAB-automaatika jaoks.
Spetsifikatsioonid(põhineb 99,8% Al₂O₃-l ja on ESD-töötlusega):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Alusmaterjal | 99,8% alumiiniumoksiid |
| Pindtakistus (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/ruutjalga |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Youngi moodul | 380 GPa |
| Soojuspaisumine (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimaalne töötemperatuur | 800°C |
| Dielektriline tugevus (lahtiselt) | 15 × 10⁶ V/m |
Märkus: ESD-pinna takistust ei ole kaasasolevates materjali omaduste tabelites esitatud. Ülaltoodud vahemik on dissipatiivse keraamika tööstusstandard. Palun võtke meiega ühendust, et saada katsearuandeid.
Rakendused:
● ESD-kindlad efektorpead kiipide ülekandeks
● Maandustihvtid ja ESD-kinnitused FAB-seadmetes
● Staatiliselt tundlike seadmete testpistikud
● Puhasruumi tööriistad, kus staatiline kontroll on kriitilise tähtsusega
Tootmine ja kvaliteet:
Standardne alumiiniumoksiidi töötlus + ESD-pinnatöötlus → pinnatakistus mõõdetakse vastavalt standardile ANSI/ESD STM11.11. Iga osa on 100% testitud kontsentrilise rõngaselektroodiga.
Eelised:
● Hoiab ära ESD-ga seotud saagikuse vähenemise
● Säilitab keraamika mehaanilise tugevuse ja keemilise vastupidavuse
● Staatilisest laengust ei teki osakesi
