Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline tihendusrõngas kõrge temperatuuriga kambri tihendamiseks

St.Cera keraamiline tihendusrõngas on loodud alternatiivina polümeersetele O-rõngastele äärmuslikes keskkondades, kus elastomeerid lagunevad. See 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) valmistatud jäik tihendusrõngas on mõeldud staatilistes tihendusrakendustes – tavaliselt koos pehme metalli või grafiidist tihendiga –, et tagada usaldusväärne vaakumi või gaasi sulgemine temperatuuridel kuni 800 °C ja agressiivses plasma- või keemilises keskkonnas. Materjalil puudub gaaside eraldumine, on suur survetugevus (paindetugevus 361 MPa) ja keemiline inerts (vastupidav halogeenidele, hapetele ja leelistele, välja arvatud HF). Täppislihvitud tihenduspinnad (tasasus ≤5 μm, pinna karedus Ra ≤0,2 μm) tagavad lekkekindla kontakti vastavate metall- või keraamiliste komponentidega.

Spetsifikatsioonid(põhineb 99,8% alumiiniumil)₂O₃):

Rakendused:

• · Pooljuhtide protsessikambri staatilised tihendid (CVD, PVD, söövitus)
• · Kõrge temperatuuriga ahjuukse tihendid
• · Vaakumläbiviigu äärikud
• · Keemilise reaktori anuma sulgurid

Tootmisprotsess:

Isostaatiline pressimine → paagutamine temperatuuril 1600 °C → täpne kahepoolne soppimine ülitasaste ja siledate tihenduspindade saavutamiseks → servade kaldlõikus → ultrahelipuhastus. Iga rõngas on 100% lekkekindlalt testitud heeliumi lekkedetektoriga, kasutades standardset metalltihendit.

Kvaliteedikontroll:

• · CMM-i mõõtmete kontroll (sisemine läbimõõt, välisläbimõõt, paksus, paralleelsus)
• · Pinna profilomeeter Ra ja lainelisuse mõõtmiseks
• · Tasapinnalisuse mõõtmine optilise tasapinna abil
• · Heeliumi lekkekatse (vasturõhu meetod)

Eelised polümeersete O-rõngaste ees:

• · Talub 800°C vs <300°C FFKM puhul
• · Nullgaaside eraldumist – vaakumkeskkonda ei saastata
• · Vastupidav kõikidele plasmakeemiatoodetele (fluor, kloor, hapnik)
• · Ei survedeformatsiooni ega jäävdeformatsiooni
• · Piiramatu kasutusiga puhtas keskkonnas

Piirangud (olulised märkused):

• · Mitte O-rõngas— see on jäik keraamiline rõngas, mille tihendamiseks on vaja pehmet tihendit (vask, alumiinium või grafiit).
• · Ei sobi dünaamilise liikumise ega ääriku suure joonduse hälbe korral.
• · Kõrgem algkulu kui polümeer-O-rõngastel, kuid pikem eluiga vähendab omamise kulusid.
• · Habras – käsitsege ettevaatlikult; vältige punktlööke või painutuspinget.

Märkus:Ülaltoodud andmed vastavad rangelt lisatud Al₂O₃ omaduste tabelile. Elastomeersete materjalide kohta andmeid ei esitatud. See toode on staatiline tihendusrõngas, mitte elastomeerne O-rõngas. Palun kinnitage, kas see vastab teie rakenduse nõuetele.