Alumiiniumoksiidi PVD isolatsioonirõngas füüsikalise aurustamise-sadestamise süsteemidele
St.Cera PVD isolatsioonirõngas on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) ja seda kasutatakse füüsikalise aurustamise (PVD) süsteemides. Rõngas tagab kambri komponentide vahelise elektrilise isolatsiooni, hoides ära kaarlahenduse ja tagades stabiilse plasma töö. Peamised omadused hõlmavad kõrget dielektrilist tugevust (15×10⁶ V/m), eritakistust >10¹⁴ Ω·mm²/m ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C. Meie täppistöötlusvõimalused saavutavad välisläbimõõdud kuni 600 mm, siseläbimõõdud kuni 0,2 mm, tasapinna 0,003 mm ja pinnaviimistluse Ra0,1. Rõnga nullpoorsus ja keemiline inerts tagavad pikaajalise töökindluse agressiivses pihustuskeskkonnas.
Spetsifikatsioonid (põhineb 99,8% alumiiniumil)₂O₃& St.Cera tootmisvõimalused):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Dielektriline tugevus | 15 × 10⁶ V/m |
| Spetsiifiline takistus | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Maksimaalne välisläbimõõt | 600 mm |
| Minimaalne sisemine läbimõõt | 0,2 mm |
| Maksimaalne paksus | 100 mm |
| Tasasus | 0,003 mm |
| Paralleelisus | 0,002 mm |
| Pinna viimistlus | Ra0.1 |
| Maksimaalne töötemperatuur | 1600°C |
Rakendused:
- · Sihtmärgi tugiplaadi isolaatorid PVD-süsteemides
- · Kambri läbivooluisolaatorid
- · Varjestusrõnga isolaatorid pihustussüsteemides
- · Kõrgepinge isolatsioon plasmakambrites
Tootmise täpsus:
Kontsentrilisus: 0,01 mm, ümarus: 0,002 mm, sirgus: 0,005 mm, ristiase: 0,005 mm, kontrollitud CMM-iga.
AEelised polümeerisolaatorite ees:
- · Talub 1600 °C, võrreldes polümeeri temperatuuriga <300 °C
- · Gaasieraldust ei esine – säilitab vaakumi terviklikkuse
- · Vastupidav plasmaerosioonile ja keemilisele rünnakule
Kohandamine:
Saadaval on kohandatud ristlõiked, kinnitusdetailid, astmeprofiilid ja mitu kontsentrilise rõnga disaini.
