Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline toru ja varras
Lühike kirjeldus:
Kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, kulumiskindluse ja isolatsiooni omadustega keraamika saab pikka aega töötada paljudes pooljuhtide tootmisseadmetes kõrge temperatuuri, vaakumi või söövitava gaasi tingimustes.