Ränikarbiidist (SiC) keraamiline efektorots – kõrge jäikus kõrgtemperatuuriliseks vahvlite käsitsemiseks
St.Cera SiC-keraamiline efektorpea on valmistatud kõrge puhtusastmega ränikarbiidist (SiC sisaldus 99,72%, vaba Si 0,05%), kasutades partiimaterjali S1111. Sellel on erakordsed mehaanilised omadused: paindetugevus 449 MPa (mõõdetud), elastsusmoodul 457 GPa (mõõdetud) ja Vickersi kõvadus 25–28 GPa (tüüpiline). Madal tihedus (3,10–3,15 g/cm³, tüüpiline) tagab suure erijäikuse, mis sobib ideaalselt kiirete kiipide ülekanderobotitele. Soojusjuhtivusega 120–150 W/m·K (tüüpiline) ja soojuspaisumisteguriga 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tüüpiline) hajutab see efektorpea tõhusalt soojust ja säilitab mõõtmete stabiilsuse kõrgel temperatuuril käitlemisel (kuni 1600–1700 °C, koormuseta). Must/hall värvus ja null veeimavus tagavad sobivuse puhasruumis.
Spetsifikatsioonid(põhineb esitatud SiC S1111 katsearuandel ja tüüpilistel väärtustel)):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | SiC (99,72% SiC, 0,05% vaba Si) |
| Värv | Must/hall |
| Tihedus | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Veeimavus | 0% |
| Paindetugevus | 449 MPa (keskmine) |
| Murdekindlus | 3,12 MPa·m¹/² (keskmine) |
| Elastsusmoodul | 457 GPa |
| Vickersi kõvadus | 25–28 GPa |
| Soojusjuhtivus (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| Süttimistemperatuur (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimaalne kasutustemperatuur (ilma koormuseta) | 1600–1700 °C |
Rakendused:
● Kiipide käsitsemine kõrgtemperatuuril (pärast lõõmutamist, RTP, epitaksia)
● Plasmasöövituskambrid, mis nõuavad suurt erosioonikindlust
● Kiired ülekanderobotid (kerged, suure jäikusega)
Tootmine:
SiC-pulbri paagutamine → käepideme profiili ja kinnitusdetailide täppis-CNC-lihvimine → pinna soppimine → ultrahelipuhastus. 100% mõõtmete kontroll ja heeliumi lekkekatse vaakumrakenduste jaoks.
Kvaliteedikontroll:
● CMM-i pikkuse, laiuse ja tasapinna kontroll
● Paindetugevuskatse partii kohta (vastavalt katsearuande standardile)
● Pinddefektide visuaalne kontroll mikroskoobi all
Eelised alumiiniumoksiidi või metalli ees:
● 2 × suurem elastsusmoodul (457 vs ~380 GPa alumiiniumoksiidi puhul) – väiksem läbipaine
● 3× suurem soojusjuhtivus – kiirem soojuse hajumine
● Talub õhus >1600 °C vs alumiiniumoksiidi 800 °C
● Väiksem tihedus kui terasel – 40% kaalulangus
Kohandamine:
Pikkused 150–450 mm, otsakujud (servahaare, Bernoulli, lame), kinnitusäärikute mustrid vastavalt OEM joonisele.
*Kõik ülaltoodud mehaanilised andmed pärinevad lisatud katseprotokollist (partii S1111). Soojus- ja kõvadusväärtused on selle SiC-klassi tüüpilised; partiispetsiifilise sertifitseerimise saamiseks võtke meiega ühendust.*
