Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline rõngas CVD/PVD protsessikambritele
St.Cera keraamiline rõngas on spetsiaalselt loodud kasutamiseks CVD (keemilise aurustamise-sadestamise) ja PVD (füüsikalise aurustamise-sadestamise) protsessikambrites. See rõngas on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) ning seda kasutatakse kambri vooderdise, fookusrõnga või protsessikomplekti komponendina, et piirata plasmat ja kaitsta kambri seinu erosiooni eest. Materjal pakub suurepärast plasmatakistust, kõrget dielektrilist tugevust (15×10⁶ V/m) ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C, tagades pika kasutusea agressiivses fluoripõhises plasmakeskkonnas. Täpsed mõõtmete tolerantsid (±0,05 mm sise-/välisläbimõõdul) ja tasapind (≤10 μm) võimaldavad kiibi serva ühtlast positsioneerimist, parandades sadestamise ühtlust ja vähendades osakeste teket.
Spetsifikatsioonid (põhineb 99,8% Al₂O₃-l):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Veeimavus | 0% |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Murdekindlus | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Youngi moodul | 380 GPa |
| Soojusjuhtivus | 32 W/m·k |
| Soojuspaisumine (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Dielektriline tugevus | 15 × 10⁶ V/m |
| Spetsiifiline takistus | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maksimaalne töötemperatuur | 1600°C |
Rakendused:
- · CVD kambri fookusrõngad ja servarõngad
- · PVD kambri kaitserõngad ja kinnitusrõngad
- · Söövituskambri vooderdised ja katterõngad
- · Plasma piiramisrõngad dielektrilistes söövitussüsteemides
Tootmisprotsess:
Isostaatiline pressimine → roheline töötlemine → paagutamine temperatuuril 1600 °C → CNC sise-/välisdiameetrite lihvimine → pinna soppimine → ultrahelipuhastus → 100% CMM-i kontroll. Ülisile pinnaviimistlus (Ra ≤0,4 μm) minimeerib osakeste adhesiooni.
Kvaliteedikontroll:
- · 100% mõõtmete kontroll (sisemine läbimõõt, välisläbimõõt, paksus, tasasus)
- · Värvaine penetratsiooni kontroll pinna mikropragude suhtes
- · Dielektrilise tugevuse katse vastavalt ASTM D149-le
- · 20× mikroskoobi all ei ole nähtavat värvimuutust ega poorsust
Eelised metall- või kvartssõrmuste ees:
- · 5–10 korda pikem eluiga kui alumiiniumrõngastel fluoriplasmas
- · Õhukestes kiledes ei ole metalli saastumist
- · Suurem plasmakindlus kui kvartsil (erosiooniauke ei teki)
- · Säilitab elektriisolatsiooni >10¹⁴ Ω·cm isegi pikaajalisel kasutamisel
Alternatiivne materjal — räninitriid (Si₃N₄):
Rakenduste jaoks, mis nõuavad veelgi suuremat purunemiskindlust (6,2 MPa·m¹/²) ja paremat termilist löögikindlust (paisumistegur 3,2×10⁻⁶/℃), on saadaval Si₃N₄-rõngad. Alumiiniumoksiid on aga enamiku CVD/PVD-rakenduste jaoks kulutõhusam. Palun täpsustage tellimisel materjali eelistus.
Kohandamine:
- · Läbivad augud, astmelised profiilid või süvendid kinnitamiseks
- · Y₂O₃-kattega pind plasma vastupidavuse suurendamiseks (valikuline)
- · Osa numbri / partiikoodi lasergraveerimine
Märkus:Ülaltoodud andmed vastavad rangelt kaasasolevale Al₂O₃ omaduste tabelile. Si₃N₄ rõngaste kohta vaadake eraldi kaasasolevat Si₃N₄ andmelehte.
