ST.CERA kohandatud pooljuhtide keraamiline fookusrõngas
Valmistatud kõrge puhtusastmega (üle 99,5%) alumiiniumoksiidkeraamikast, mis on moodustatud külmisostaatilise pressimise teel ja paagutatud kõrgel temperatuuril, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud, vastavad keraamilised varuosad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele, omades kulumiskindlust, korrosioonikindlust, väikest soojuspaisumist ja isolatsiooni.
Kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, kulumiskindluse ja isolatsiooni omadustega keraamika saab pikka aega töötada paljudes pooljuhtide tootmisseadmetes kõrge temperatuuri, vaakumi või söövitava gaasi tingimustes.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
