12-tolline alumiiniumoksiidi vaakumpadrun 300 mm vahvlite töötlemiseks
St.Cera 12-tolline vaakumpadrun on täppiskonstruktsiooniga valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) 300 mm kiipide käsitsemiseks. Padrunil on peenelt sooneline pind (soone laius 0,5–1,0 mm, samm 2–3 mm), et tagada ühtlane vaakumjaotus kogu 300 mm läbimõõdu ulatuses. Tasasus säilib 5 μm piires, mis võimaldab kiipide deformatsioonivaba fikseerimist tükeldamise, tagakülje lihvimise ja kontrolli ajal. Materjali kõrge paindetugevus (361 MPa) ja kõvadus (16 GPa) tagavad pikaajalise mõõtmete stabiilsuse isegi korduvate vaakumtsüklite korral.
Spetsifikatsioonid (põhineb 99,8% Al₂O₃-l):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Läbimõõt | 300 mm (12 tolli) |
| Materjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Tasasus (üle 300 mm) | ≤5 μm |
| Soone laius | 0,5–1,0 mm |
| Maksimaalne töötemperatuur | 800°C |
| Dielektriline tugevus | 15 × 10⁶ V/m |
Rakendused:
300 mm vahvli tükeldamine ja joonistamine
Vahvli tagakülje lihvimine (õhukese vahvli tugi)
Optiline kontroll ja sondeerimine
Ajutised liimimis-/eemaldamispadrunid
Tootmine:
CNC-lihvitud ja lõpliku tasasuseni soppitud, teemantketastega sooned freesitud, ultraheliga puhastatud ja pakendatud 100. klassi puhasruumis. Iga padrunit kontrollitakse 100% tasapinna (laserinterferomeeter) ja soone sügavuse (profilomeeter) osas.
Eelised:
Madal osakeste teke (≤0,05 osakest/cm²)
Keemiliselt inertne lahustite ja hapete suhtes
ESD-ohutu pind (takistus >10¹³ Ω·cm)
Saadaval on kohandatud vaakumavade mustrid ja tagakülje avad.
