Keraamiline tugitihvt pooljuhtide protsessiseadmetele
St.Cera keraamilisi tugitihvte (tuntud ka kui tõstetihvtid või tugitihvtid) kasutatakse pooljuhtide protsessikambrites vahvlite või substraatide tõstmiseks käitlemise, kuumutamise või jahutamise ajal. Need tihvtid on valmistatud 99,8% alumiiniumoksiidist või räninitriidist ning pakuvad suurt survetugevust, termilist stabiilsust ja keemilist vastupidavust. Poolkerakujuline või lameda otsaga disain hoiab ära vahvlite kriimustamise.
Spetsifikatsioonid(Alumiiniumoksiid 99,8%):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% Al₂O₃ või Si₃N₄ |
| Pikkus | 10–100 mm |
| Läbimõõt | 1–10 mm |
| Otsa kuju | Lame, poolkerakujuline, terav |
| Survetugevus (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimaalne töötemperatuur (Al₂O₃) | 1600°C |
| Pinna viimistlus | Kattega (Ra ≤0,4 μm) |
| Läbimõõdu tolerants | ±0,01 mm |
Rakendused:
Tõstetihvtid CVD/PVD kambrites
Pliidiplaadil küpsetamise tugitihvtid
Sondikaardi tugistruktuurid
Kvartsahju paadi toed
Tootmine:
Välispinna täpne tsentreerimata lihvimine → otsaprofiili teemantlihvimine → ultrahelipuhastus → 100% mõõtmete kontroll.
Kvaliteedikontroll:
KMM pikkuse/läbimõõdu määramiseks, optiline võrdlusseade otsa raadiuse määramiseks, koormuskatse survetugevuse kontrollimiseks (juhuslik proov partii kohta). Ferromagnetilist saastumist ei ole (kontrollitud magnetiga).
Eelised metall- või kvartsnõelte ees:
5 korda pikem eluiga kui roostevabal terasel
Protsessikambris ei ole metalli saastumist
Kõrgem temperatuuritaluvus kui kvartsil (1600 °C vs 1100 °C)
Mittenakkuv pind (vähendatud osakeste haarduvus)
Kohandamine:
Mitme otsaga profiilid, keermestatud alus või kooniline võll.
Pakume ka SiC-tihvte äärmuslike plasmakeskkondade jaoks.
