Alumiiniumoksiidi gaasijaotusplaat CVD/PVD dušipea jaoks
St.Cera gaasijaotusplaat (dušipea) on täppistöödeldud kõrge puhtusastmega 99,8% alumiiniumoksiidkeraamikast. Sellel on rida mikroauke (läbimõõduga 0,3–1,5 mm), mis tagavad ühtlase gaasivoo üle kiibi pinna CVD-, PVD- või ALD-protsesside ajal. Plaadi kõrge dielektriline tugevus (>15×10⁶ V/m) ja plasmatakistus muudavad selle pooljuhtide õhukese kile sadestamiseks hädavajalikuks.
Spetsifikatsioonid:
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% Al₂O₃ või SiC |
| Läbimõõt | 100–1500 mm (ümmargune või ristkülikukujuline) |
| Paksus | 5–20 mm |
| Augu läbimõõt | 0,3–1,5 mm |
| Augu muster | Kohandatud (kolmnurkne, ruudukujuline, radiaalne) |
| Tasasus | ≤10 μm kogu pinna ulatuses |
| Pinna karedus | Ra ≤0,6 μm (gaasipool) |
| Avatud pindala suhe | 5–15% |
Rakendused:
PECVD dušipea plaadid
ALD gaasipihustid
Söövituskambri gaasijaotusplaadid
MOCVD reaktori komponendid
Tootmine:
Alumiiniumoksiidi aluspinna tasapinnaline katmine → CNC-puurimine teemantkattega tööriistadega (augu asendi tolerants ±0,02 mm) → ebatasasuste eemaldamine → ultrahelipuhastus → 100 klassi pakend.
Kvaliteedikontroll:
Iga plaati kontrollitakse 100% ulatuses augu suuruse (visioonisüsteem), tasapinna (laserinterferomeeter) ja gaasivoolu ühtluse (rõhu kaardistamine) osas. 20x mikroskoobi all mikropragusid ei esine.
Eelised metallplaatide ees:
Õhukestes kiledes ei ole metallilist saastumist
Väiksem osakeste teke (korrosioonihelbed puuduvad)
Talub agressiivseid puhastusplasmasid (CF₄, NF₃)
Kohandatud funktsioonid:
Tagaküljel olevad gaasikanalid, süvistusavad, servatihendid ja erinevad materjaliklassid (SiC suurema soojusjuhtivuse tagamiseks, Y₂O₃-kate plasmakindluse tagamiseks).
Pakume enne tootmist CAD-verifitseerimist ja voolu simulatsiooni.
