Suureformaadiline alumiiniumoksiidi keraamiline plaat pooljuhtide ja tööstusseadmete jaoks
St.Cera toodab suureformaadilisi keraamilisi plaate 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃), mille maksimaalsed mõõtmed on kuni 1500 mm pikkuses ja 600 mm laiuses. Meie täppislihvimisvõimalused saavutavad tasapinna 0,003 mm 100 mm ulatuses ja paralleelsuse 0,002 mm, tagades ühtlase pinnakvaliteedi suurte pindade puhul. Paksus kuni 100 mm, pinnaviimistlus kuni Ra0,1. Neid plaate kasutatakse vaakumpadrunite alustena, kütteplaatidena, elektriisolatsioonipaneelidena ja protsessikambrite põrandatena pooljuhtide, kuvarite ja fotogalvaanika tootmises. Saadaval on läbivad avad, süvendid ja servaprofiilid.
Spetsifikatsioonid (põhineb 99,8% alumiiniumil)₂O₃& St.Cera tootmisvõimalused):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Dielektriline tugevus | 15 × 10⁶ V/m |
| Maksimaalne pikkus | 1500 mm |
| Maksimaalne laius | 600 mm |
| Maksimaalne paksus | 100 mm |
| Tasasus (100 mm kohta) | 0,003 mm |
| Paralleelisus | 0,002 mm |
| Pinna viimistlus | Ra0.1 (lakkitud/poleeritud) |
| Maksimaalne töötemperatuur | 1600°C |
Rakendused:
- · Vaakumpadruniga alusplaadid suurtele vahvlitele ja paneelidele
- · Termotöötlusseadmete kütteplaadid
- · Kõrgepingesüsteemide elektriisolatsioonipaneelid
- · Protsessikambri põrandad ja vooderplaadid
Tootmise täpsus:
Sirgus: 0,005 mm, ristiase: 0,005 mm, kontrollitud laserinterferomeetriga.
Eelised metallplaatide ees:
- · Metallist saastumist ei esine – pooljuhtide protsesside jaoks kriitilise tähtsusega
- · Gaasivaba – ideaalne vaakumkeskkondadesse
- · Suurepärane kulumis- ja keemiline vastupidavus
Kohandamine:
Saadaval on kohandatud augumustrid, servaprofiilid, astmelised pinnad ja metalliseeritud kinnitusalad.
