Metallist aluspinnaga poorne SiC-vaakumpadrun kõverdunud ja õhukeste vahvlite käitlemiseks

St.Cera metallpõhine keraamiline vaakumpadrun ühendab poorse ränikarbiidist (SiC) keraamilise kihi täppistöödeldud metallalusega (alumiinium või roostevaba teras). Poorne SiC-materjal (sinine-must, poorsus 35–40%, pooride suurus 20–30 μm, läbilaskvus 60 ml/cm²·min) tagab ühtlase ja õrna vaakumjaotuse kogu vahvli pinnal, välistades servade märgistamise ja võimaldades kontaktivaba tuge õhukeste (≤100 μm) või moonutatud vahvlite jaoks. SiC-kiht pakub väikest soojuspaisumist (3,5×10⁻⁶/℃), termilist stabiilsust kuni 1000 °C ja mõõdukat paindetugevust (32–35 MPa). Metallalus lisab konstruktsioonilist jäikust, hõlpsat paigaldamist keermestatud aukude kaudu ja kaitset hapra purunemise eest. See padrun sobib ideaalselt tagakülje lihvimiseks, tükeldamiseks ja kõrgel temperatuuril vahvlite töötlemiseks, kus ühtlane vaakum ja termiline ühilduvus on kriitilise tähtsusega.

Spetsifikatsioonid (põhinevad esitatud poorse SiC andmetel):

Märkus: Paindetugevus on poorsuse tõttu madalam kui tihedal SiC-l. Metallist alusomadused ei pärine keraamilistest laudadest.

Rakendused:

• · Õhukeste vahvlite (≤100 μm) tagakülje lihvimine
• · Kõverdatud kiibi kinnitus tükeldamiseks
• · Kõrgtemperatuuriline kiipide purustamine (kuni 1000 °C)
• · Vaakumkinnitus poorsete või habraste pindade jaoks

Tootmine:

Poorne SiC-plaat (moodustatud pooride moodustajatega, paagutatud) → tasandatakse tasapinnale ≤10 μm → vaakumportide ja kinnitusdetailidega töödeldud metallalus → epoksüliimimine või mehaaniline kinnitus → heeliumi lekkekatse.

Kvaliteedikontroll:

• · Poorsus ja pooride suurus kontrollitud SEM-iga
• · Läbilaskvuse test (õhuvool)
• · Tasasus mõõdetud laserinterferomeetriga
• · Heeliumi lekkekiirus <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Eelised soontega või tihedate keraamiliste padrunite ees:

• · Kiibil pole märgistust – ühtlane vaakum ilma eraldiseisvate aukudeta
• · Isepuhastuvad poorid – vähenenud ummistus
• · Saab hakkama moonutatud vahvlitega (kuni 500 μm kaarega)
• · Metallalus hoiab ära hapra purunemise ja lihtsustab integreerimist

Piirangud:

• · Väiksem paindetugevus (32–35 MPa) – vältida löökkoormust
• · Töötemperatuur on piiratud 1000 °C-ni (poorne SiC), kuid metall-epoksüüdliimiga liimimisel on see ≤200 °C, kui see pole mehaaniliselt kinnitatud.
• · Ei sobi kõrgsurvevaakumisse (poorne struktuur piirab maksimaalset vaakumi diferentsiaali)

Kohandamine:

• · Metallalus: alumiinium (kerge), roostevaba teras (korrosioonikindel), Invar (vähese paisumisega)
• · Liimimine: epoksüvaik (≤200°C) või mehaaniline klamber (kuni 500°C)
• · Tsoonvaakumkontrolli servatihend

Pange tähele: Paindetugevus (32–35 MPa) on poorsuse tõttu oluliselt madalam kui tihedal keraamikal. Käsitsege ettevaatlikult, et vältida servade mõrastumist.