Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline efektorplokk vahvlite käitlemise robotitele
St.Cera alumiiniumoksiid-keraamiline efektor on täppistöödeldud 99,8% kõrge puhtusastmega Al₂O₃-st, kasutades täiustatud 5-teljelist CNC-lihvimisseadet. Meie tootmisvõimaluste hulka kuuluvad täppislihvimismasinad ja CNC-töötluskeskused, mis võimaldavad keerukate geomeetriate valmistamist suure täpsusega. Efektoril on õhuke profiil (kuni 1,5 mm) ja kooniline esiserv sujuvaks kiibi sisestamiseks. Materjal tagab suure jäikuse (Youngi moodul 380 GPa), suurepärase kulumiskindluse ja termilise stabiilsuse kuni 800 °C. Iga üksus on täppislihvitud, et saavutada 0,003 mm tasapind, 0,002 mm paralleelsus ja Ra0,1 pinnaviimistlus, mis tagab kiibi ühtlase kontakti ja osakestevaba töö pooljuhtide FAB-keskkondades. Saadaval pikkustes 150 mm kuni 450 mm, kohandatud otsageomeetriatega (servahaarduvus, Bernoulli, tasane) ja kinnitusäärikutega, et need sobiksid OEM-robotite jaoks. Pinnaviimistlusvõimaluste hulka kuuluvad kattega, poleeritud või ESD-d hajutav kate (10⁶–10⁹ Ω/sq).
Spetsifikatsioonid (põhineb 99,8% alumiiniumil)₂O₃& St.Cera tootmisvõimalused):
| Kinnisvara | Väärtus |
| Materjal | 99,8% alumiiniumoksiid (elevandiluust) |
| Tihedus | 3,93 g/cm³ |
| Paindetugevus | 361 MPa |
| Vickersi kõvadus | 16 GPa |
| Youngi moodul | 380 GPa |
| Tasasus | 0,003 mm |
| Paralleelisus | 0,002 mm |
| Pinna viimistlus | Ra0.1 (lakkitud/poleeritud) |
| Maksimaalne töötemperatuur | 800°C |
| Pikkuse vahemik | 150–450 mm |
Rakendused:
- · Vahvlite ülekanne vaakum- ja atmosfäärirobotites
- · FAB automatiseeritud efektormootorid 200 mm/300 mm vahvlitele
- · Õhukeste vahvlite käsitsemine (ESD-valikuga)
Tootmisvõimalused:
Meie täppislihvimismasinad ja CNC-töötluskeskused võimaldavad toota keerukaid keraamilisi komponente järgmiste omadustega:
- · Maksimaalne töötlemispikkus: 1500 mm
- · Maksimaalne välisläbimõõt: 600 mm
- · Minimaalne siseläbimõõt: 0,2 mm
- · Maksimaalne paksus: 100 mm
Kvaliteedikontroll:
Sirgus 0,005 mm, risti olek 0,005 mm, ümarus 0,002 mm, paralleelsus 0,002 mm, kontsentrilisus 0,01 mm, kontrollitud CMM-iga. Iga seade on ultraheliga puhastatud ja pakendatud 100. klassi puhasruumi.
