-
ST.CERA Kohandatud pooljuhtseadmed Keraamilised padrunid
Pooljuhtide välja kriitiline protsess tuleb läbi viia puhasruumis, eriti seadmete puhul, mida tuleks kasutada kõrge temperatuuri, vaakumi ja söövitava gaasi tingimustes. Keraamika suudab säilitada suure stabiilsuse keerulises füüsikalises ja keemilises keskkonnas.
-
ST.CERA Kohandatud pooljuhtseadmed Keraamiline plaat
Pooljuhtide välja kriitiline protsess tuleb läbi viia puhasruumis, eriti seadmete puhul, mida tuleks kasutada kõrge temperatuuri, vaakumi ja söövitava gaasi tingimustes. Keraamika suudab säilitada kõrge stabiilsuse keerulises füüsikalises ja keemilises keskkonnas.
-
ST.CERA kohandatud pooljuhtkeraamiline fookusrõngas
Pooljuhtide välja kriitiline protsess tuleb läbi viia puhasruumis, eriti seadmete puhul, mida tuleks kasutada kõrge temperatuuri, vaakumi ja söövitava gaasi tingimustes. Keraamika suudab säilitada suure stabiilsuse keerulises füüsikalises ja keemilises keskkonnas.
-
ST.CERA kohandatud 99,5% alumiiniumoksiidi keraamiline laadurvars
Keraamiline efektor-käpp paigaldatakse kiipide käsitsemise robotile ehk „efektor-käpale“ ja seda kasutatakse ränikiipide kassettidesse või protsessikambritesse sisse- või väljakandmiseks.
Keraamika kasutamise eelised on läbipainde vähenemine suure paindetugevuse tõttu, vastupidavus kõrgetele temperatuuridele ning metalli saastumise ja osakeste vältimine. -
ST.CERA kohandatud alumiiniumoksiidi keraamiline efektor
ST.CERA pakub ESD-kattekihti ja ESD-keraamilist materjali. Töötlemispea on valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatpressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel. Selle mõõtmete tolerants on ±0,001 mm, pinnaviimistlus Ra 0,1 ja temperatuurikindlus 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud pooljuhtide keraamiline fookusrõngas
Valmistatud kõrge puhtusastmega (üle 99,5%) alumiiniumoksiidkeraamikast, mis on moodustatud külmisostaatilise pressimise teel ja paagutatud kõrgel temperatuuril, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud, vastavad keraamilised varuosad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele, omades kulumiskindlust, korrosioonikindlust, väikest soojuspaisumist ja isolatsiooni.
Kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, kulumiskindluse ja isolatsiooni omadustega keraamika saab pikka aega töötada paljudes pooljuhtide tootmisseadmetes kõrge temperatuuri, vaakumi või söövitava gaasi tingimustes.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud pooljuhtide täppisalumiiniumoksiidi keraamiline puks
Valmistatud kõrge puhtusastmega (üle 99,5%) alumiiniumoksiidkeraamikast, mis on moodustatud külmisostaatilise pressimise teel ja paagutatud kõrgel temperatuuril, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud, vastavad keraamilised varuosad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele, omades kulumiskindlust, korrosioonikindlust, väikest soojuspaisumist ja isolatsiooni.
Kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, kulumiskindluse ja isolatsiooni omadustega keraamika saab pikka aega töötada paljudes pooljuhtide tootmisseadmetes kõrge temperatuuri, vaakumi või söövitava gaasi tingimustes.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud alumiiniumoksiidi keraamiline vaakumotsaefektor
See on vaakumtingimustes kasutatav kandikutüüpi keraamiline efektorpea / käsivars.
Keraamiline efektorpea/käepide on metallpeadega võrreldes „kuumuskindlam“, „vähem painduv“ ja „kergem“.
Kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, kulumiskindluse ja isolatsiooni omadustega keraamika saab pikka aega töötada paljudes pooljuhtide tootmisseadmetes kõrge temperatuuri, vaakumi või söövitava gaasi tingimustes.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud 99,5% alumiiniumoksiidi keraamilised torud ja keraamilised vardad
Kõrge temperatuurikindluse, korrosioonikindluse, kulumiskindluse ja isolatsiooni omadustega keraamika saab pikka aega töötada paljudes pooljuhtide tootmisseadmetes kõrge temperatuuri, vaakumi või söövitava gaasi tingimustes.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud alumiiniumoksiidi keraamilise efektorplaadi käsitsemine
ST.CERA pakub ESD-kattega ja ESD-keraamilisest materjalist efektorpea/käepideme sisseehitatud õõneskanaliga. Meie spetsialiseerumine on tehnika, mis moodustab ühe materjalitüki sisse vaakumõhukanali ilma liimi kasutamata.
Saaste, gaaside eraldumise või osakeste ohtu pole. ST.CERA vaakum-efektor/käitlusvars spetsiaalse kattega on elektriisolatsiooniga. Pakume ka ESD-keraamilist materjali, mis on elektriisolatsiooniga ilma igasuguse katteta.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃. -
Alumiiniumoksiidi keraamilised efektorpea pooljuhtide seadmete komponendid
Vältige osakeste tekkimist kald- või nurga all olevatelt servadelt ja tagapinnalt, kui vahvleid transporditakse või kui need puutuvad kokku efektorpea/käitlusvarrega.
Juhikute jaoks on kasutatud pehmet materjali, mis ei kahjusta vahvlit.
Hõrendamist saab teha ST.CERA sisseehitatud vaakumkanalitehnoloogiaga, mis ei kasuta liime.
Võimalik teha kinnitusauke ning muuta aluse pikkust ja laiust, kuhu robotile paigaldatakse efektorpea/käepide.
Paigaldusandurid, kruvid ja kronsteinid on saadaval lisavarustusena.
Mõeldud kasutamiseks atmosfääris.
-
St.Cera keraamilise efektorpea kohandatud CNC-töötlus
ST.CERA pakub vaakumkeraamilist efektorpead/käepidet sisseehitatud õõneskanaliga. Meie spetsialiseerumine on tehnika, mis moodustab ühe materjalitüki sisse vaakumõhukanali ilma liimi kasutamata.
Saaste, gaaside eraldumise või osakeste ohtu pole. ST.CERA vaakum-efektor/käitlusvars sisseehitatud kanaliga on vastupidav ja seda saab kasutada kõrgetel temperatuuridel. Lisaks saab meie tootmiskulusid vähendada ebavajaliku kokkupaneku vältimisega.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
